光學檢測系列

MX-RT半導體檢查顯微鏡

MX-RT半導體檢查顯微鏡

DETAIL

MX-RT 半導體檢查顯微鏡

MX-RT 金相偏光顯微鏡 \ 專為半導體晶圓、電子品檢打造的高精密光學儀器
NIS Optics 無限遠色差校正光學系統
0.001 mm Z軸微調高精度微米級對焦
Digital Dimming 數字調光具有光強設定與復位

MX-RT 專業級偏光金相顯微鏡硬體配備

尖端視覺光學系統OPTICS

  • 光學系統 : 搭載先進 無限遠色差校正光學系統,徹底消除光學相差
  • 平場目鏡 : 配備超高解析視野平場目鏡 10X / 25mm,貼心具備視度可調功能
  • 金相物鏡 : 標配專業級明暗視野消色差金相物鏡:5X、10X、20X、50X,全方位覆蓋微觀檢查需求

電動轉換與精密機構MECHANICS

  • 物鏡鼻輪 : 高規格明暗視野 5孔電動鼻輪 轉換機構,操作更流暢
  • 對焦粗調行程 : 具備寬廣的 25mm 粗調對焦範疇
  • 微調精度 : 達到極致微米級 0.001mm 微調對焦精度
  • 安全保護裝置 : 標配防止下滑的調節鬆緊裝置,以及隨機上限位元裝置,雙重保障珍貴試片與鏡頭

多款基座與數字調光ELECTRONICS

  • 多元基座尺寸 : 支援四款量測基座行程配置:100x100、150x100、200x150、355x300mm
  • 供電系統 : 內置 100-240V 全球通用寬電壓供電系統
  • 調光機能 : 系統採用現代化數字調光技術
  • 記憶復位 : 具備智慧 光強設定與復位功能,無須重複手動校對光強

半導體檢查顯微鏡常見採購問答

Q1 什麼是「無限遠色差校正光學系統(NIS)」?這對晶圓晶粒檢查或偏光金相分析有何核心技術優勢?
在半導體與精密科技廠的檢測中,微小的顏色偏差或光學畸變都可能導致產品缺陷的誤判。傳統光學系統的成像距離固定,容易產生色差與場曲。MX-RT 採用的「無限遠色差校正光學系統」,光線經過物鏡後會變成平行光束,由管鏡重新聚焦成像。這種尖端設計不僅徹底消除了邊緣色差,使 5X、10X、20X、50X 物鏡在 10X/25mm 超大平場目鏡下都能呈現均一、高對比的真實色彩,更允許在光路中自由加裝偏光鏡、波片或螢光模組,而絕不影響光學成像品質。這對需要精密觀察晶圓表面應力、雙折射率或金屬微觀組織的金相檢查來說,提供了最高等級的可靠度。
Q2 這款顯微鏡配備的「5孔電動鼻輪」與「數字調光具有光強設定與復位功能」,能如何提升產線品檢的操作體驗與效率?
傳統半導體檢查顯微鏡需要手動轉動鼻輪來切換物鏡倍率,不僅手動觸碰容易引入細微震動導致畫面跑焦,還可能增加指紋污染鏡頭的風險。MX-RT 升級了「明暗視野 5 孔電動鼻輪」,操作員只需一鍵即可流暢控制物鏡切換。更強大的是,由於不同倍率物鏡所需的最佳進光量不同,以往每換一次物鏡就要重新調整亮度;MX-RT 的數字調光技術內建「智慧光強設定與復位功能」,系統會記住您在各倍率下偏好的最佳光照強度,物鏡切換到位時,光強會自動一鍵復位,完美免除反覆調光的瑣碎步驟,大幅釋放產線產能。
Q3 對於精密電子廠與科技廠車間而言,MX-RT 的「防止下滑調節裝置」與「隨機上限位元裝置」能如何保障設備安全?多款基座行程如何選擇?
高倍率金相檢查時,物鏡的前端距離晶圓或試片表面極近(微米級距離)。如果操作員在粗調對焦(25mm 行程)時速度過快,或者調焦機構因重力產生微量下滑,極易發生「鏡頭撞擊珍貴晶圓」的慘劇,導致幾十萬元的鏡頭或產品受損。MX-RT 特別設計了防下滑調節鬆緊裝置,並在外殼配備可隨時鎖定的「隨機上限位元裝置」,幫您物理性鎖定調焦的最大上升高度,徹底杜絕撞鏡風險,微調精度高達 0.001mm(1微米)。在基座方面,力訓科技提供從 100x100mm、150x100mm、200x150mm 到最大 355x300mm 的彈性行程基座,各大科技廠可依據廠內 4吋、6吋、8吋到 12吋晶圓或封裝載板的尺寸靈活選配,對接最完美的量測技術解決方案。

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